爱德华RV5真空泵维修-东莞市诚合真空设备

爱德华RV5真空泵维修目前采用的校准系统有：分子束法校准系 统、压力衰减法校准系统、流导调制法校准系统和分流法校准系统。 图4-12所示为采用分流法和压力衰减法的极高/或超高真空校准装置，包括：极 高真空系统、超高真空系统、流量分流系统和供气系统。分流法是将已知流量气体 引入分流室，通过分流室两个流导相差很大的小孔(流导比约为100:1)分流到 极高真空校准室和超高真空校准室。在动态条件下极高真空校准室的压力p为：

4-10) p=QC(1-R)(1 Rc) 式中Q引人分流室气体流量，Pa·m/ Rn极高真空系统抽气限制孔返流 C-—极高真空系统抽气限制孔流导，m3/s; Rc—分流室分流小孔流导比(流入超高真空室小孔流导和流入极高真空室 小孔流导之比)

采用真空电气元件控制泵入口压力

　　在分子泵的入口管路处安置真空膜盒继电器或电接点真空压力表等压力敏感元件。真空系统启动后，爱德华RV5真空泵维修价格，当分子泵入口处压力低于给定值(泵允许启动压力)时，压力敏感元件发出信号，经电气控制系统开启分子泵(如真空系统中装有罗茨真空泵旁通管路，则同时关闭旁通管路阀门)。若泵入口压力高于规定值时，则自动关闭分子泵(或同时打开泵旁通管路阀门)，从而保证了分

子泵的可靠运转。

在排除电路部分的故障后，爱德华RV5真空泵维修哪家好，爱德华真空泵维修应考虑以下两个因素：

1、检查电机是否烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，爱德华RV5真空泵维修工厂，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线国。轴承损坏就更换轴承;电机线国烧毁则应维修电机，重新绕制定子线國。轴承和线器损坏严重时，就需更换电机了。

涡轮分子泵的极限压力p1可用泵出口压力p2除以泵的压缩比K得来，即(2-24) K 涡轮分子泵的K值，随分子量的增加而增大，它对油蒸气的压缩比特别大 因而能够获得碳氢化合物污染较少的清洁真空，但对于轻的气体如氢的压缩比却很 低，爱德华RV5真空泵维修，所以前级氢分压是影响泵的极限压力的因素，氢的分压主要来源于前级 机械泵运转时油裂解产生氢的影响，不同牌号的前级机械泵油，对分子泵的极限压 力的影响远远大于泵轴承润滑油的影响。高压缩比的分子泵，经过烘烤后能获得 1×10=6~1×10-9Pa的真空度，氢占残余气体成分的90%以上。